低溫等離子工業廢氣處理設備與技術是一項集物理、化學、生物、環境科學于一體的交叉集成電子化學技術，由于其具有易于污染物分子有效分解、處理能耗低等特點，成為國內外最具發展前景的大氣污染控制技術之一。該工藝應用廣泛，有較大的推廣價值，為工業領域中VOC有機廢氣及惡臭氣體的治理提供了新的思路。
　　1、主要采用脈沖高頻高壓等離子電源線和雙介質齒板式電源線裝置，以端子式電形式產生高濃度離子。它是一種聚集材料，其高能電子可在幾毫秒內瞬間穿透空氣和排出分子，并發生一系列分化裂化反應，產生高濃度、高強度、高能量活化自由度。堿類與各種電子、離子等，與機械廢氣中的分子發生一系列物理和化學反應，在反應過程中產生各種活性自由基和生態氧，即由原子氧產生的分解產物。
　　2、活動性自由基能有效破壞各種病毒和細菌中的核酸和蛋白質，阻止正常的新陳代謝和生物合成，從而導致它們的死亡；生態氧能迅速含有大量有機廢氣分子。高能電子，正、負離子，激發態粒子和具有強氧化性的后型自由基。該活性粒子與一些廢氣分子碰撞，同時產生大量的OH、HO2、O等活性自由基和極強氧化O3，能與有害氣體分子發生化學反應，生成無害產物。